製品情報

Roll-SEM

Roll-SEM(ローラーモールド測定装置)

Roll-SEMは、ナノインプリントで用いられるローラーモールドをそのままの状態で観察・計測する事ができる唯一の電子線測定装置です。
ナノサイズのローラーモールドの検査に威力を発揮します。特にシームレスパターンの検査には不可欠な装置です。

特長

  • - ローラーモールドを直接観察・測定が可能
  • - 非破壊・無蒸着で観察が可能
  • - 回転式モールドステージ採用
  • - お客様の特別仕様(モールドサイズなど)にも対応
rollsem
※本製品は、受注生産となります。
rollsem
資料ご提供:旭化成株式会社 殿