製品情報

当社は、電子ビーム技術を活かし、半導体及びナノテクノロジー分野への寸法測定・欠陥レビュー技術を提供しております。
フォトマスクの観察・計測で培ったノウハウを活用し、超微細加工されたHDD/MEMS/ナノインプリントなどの分野へ装置を開発、販売しています。

• 電子ビーム
  フォトマスクパターン
  寸法測定装置

  

• 電子ビーム
  フォトマスク欠陥レビュー
  分析装置

  

• Roll-SEM