电子束
光掩模缺陷复检设备
LEXa-20
LEXa-20电子束
LEXa-20 采用了在HOLON Mask CD-SEM设备中经过验证的低真空技术，充分实现了“看见想看的东西”。通过抑制电荷积累效应，同时利用人工智能（AI）实现了从缺陷检测到元素分析的全自动化操作。这使得 LEXa-20 成为目前唯一具备该能力的设备。作为EUV光刻技术引入过程中的关键设备，LEXa-20广泛应用于EUV掩模制造和晶圆厂的生产过程中。
LEXa-20 的特点
- - 低真空技术：实现光掩模的全面观察和高精度元素分析
- - 低加速电压：通过低加速电压进行样品低损伤分析
- - AI 自动化：配备自动缺陷检测和自动调中功能，大幅提高检测效率
- - 坐标链接功能：与光学缺陷检测设备实现无缝坐标链接
- - 元素映射：供详细的可视化元素分布映射功能
*有关LEXa系列的详细规格和设备配置，请点击此处联系我们。