本公司专注于电子束技术的应用，为半导体及纳米技术领域提供高精度的尺寸量测与缺陷复检解决方案。 同时，凭借在光掩模量测领域积累的深厚经验，也开发并销售面向超精密加工领域（如HDD、MEMS、纳米压印）的高性能量测设备。
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