株式会社ホロン 半導体検査装置の開発、製造、販売、保守サービス

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Zシリーズ(フォトマスク用CD-SEM)

ZX

ZXは、ホロンがフォトマスク市場で長年培った独自の高分解能技術、チャージ対策技術をさらに進化させてsub-10 nm最先端デバイス用マスク向けに開発いたしました。

<特長>

  • ナノパターンの高速・高精度計測が可能
  • 収差補正技術をさらに改良し、高SNRイメージを取得
  • 低真空技術によるチャージフリーSEM画像を取得、高精度計測が可能
  • 多彩なアプリケーション(多点計測・輪郭抽出・2D測定・欠陥レビュー・3D表示)
  • 様々なサンプルに対応(EUVマスク・NIL用Qzモールド・PETフィルムモールド・DSAフィルムなど)

詳細仕様、装置構成につきましてはこちらよりお問合せ下さい。

ZXイメージ