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LEXaシリーズ(欠陥レビューSEM)

LEXa-10

ナノの世界を観察・分析する欠陥レビューSEM!

LEXa-10は、フォトマスク用CD-SEMで定評のある低真空技術の採用によりチャージ抑制を行いながら観察・分析ができる装置です。

  • 低真空技術によるフォトマスク(絶縁物)の全面観察および元素分析
  • 低加速電圧による高分解能、低ダメージ分析
  • 光学式欠陥検査装置とのリンク機能
  • 自動欠陥レビューナビゲーション(ADR)機能
  • 元素マッピング機能
  • 各種ウェハサイズ(~8インチ)にも対応

基本仕様

観察可能試料 6025フォトマスク
4~8インチウェハ
画像分解能 3nm
加速電圧 0.5kV~7kV
プローブ電流 50pA~1nA
EDSエネルギー
分解能
127eV
LEXa-10イメージ

※SMIF POD用オートローダーはオプションとなります。
※本製品は、受注生産となります。

LEXa-10イメージ

LEXa-10 HR

LEXa-10 HRは、フォトマスク用DR-SEM LEXa-10をさらに発展させ、分解能、安定性を進化させたマスク上ディフェクト観察・分析用SEMです。

フォトマスク、EUVマスク表面の微小粒子状物質、残留薄膜などの元素分析(EDS)を短時間で正確に行うことができます。ハイエンドプロセス開発加速に大いに貢献します

<特長>

LEXa-10の機能に加え、以下の項目を強化し、フォトマスク、EUVマスク、NILモールド 表面のナノサイズの極小ディフェクト、薄膜などの観察・分析に最適です。

  • マスク用CD-SEMで培った高分解能技術を応用
  • 低加速電圧による高分解能、低ダメージ分析
  • コンタミネーション対策を強化

詳細仕様、装置構成につきましてはこちらよりお問合せ下さい。

LEXa-10 HRイメージ