株式会社ホロン 半導体検査装置の開発、製造、販売、保守サービス

文字の大きさ

サイトマップ

お問合せ

English

製品情報

ESPA-3000シリーズ(8インチ以下ウェハ用CD-SEM)

ESPA-3000

ウェハの素材を選ばない、中・小口径ウェハ用CD-SEM!

ESPA-3000 seriesは、フォトマスク用CD-SEMで定評のある弊社独自の低真空技術にも対応し、チャージしやすい対象でも測長・クリアな観察ができる装置です。

  • 各種ウェハサイズ(~8インチ)に対応
  • 低真空技術によりチャージアップしやすいサンプルの観察・計測が可能
  • Si以外のSiC、GaN、NILモールドなどの様々な素材のウェハに対応。
  • 高感度のEDS分析により異物などの元素分析が可能(オプション)

基本仕様

観察可能試料 各種4~8インチウェハ
画像分解能 3nm
加速電圧 0.5kV~5kV
プローブ電流 50pA~1nA
測定再現性(3σ) 2nm or 1%
搬送方式 C to C
ESPAイメージ