株式会社ホロン 半導体検査装置の開発、製造、販売、保守サービス

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EBLITHO™シリーズ(EB-Stamper)

EBLITHO™

非接触で高速転写

  • EBLITHOは、微細性と生産性を満たす完全周期ナノ構造をEpi基板に非接触で転写できます。
  • ステンシルマスクを用いて高スループットを実現し、低CoO (Cost of Ownership)を達成しています。
  • ナノインプリント用大面積モールド(10mm領域)に微細パターンを10秒で転写できます。
  • 2~6インチ口径基板に対応

EB-Stamper EBLITHOイメージ