株式会社ホロン 半導体検査装置の開発、製造、販売、保守サービス

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Roll-SEM

Roll-SEM
(ローラーモールド測定装置)

Roll-SEMは、ナノインプリントで用いられるローラーモールドをそのままの状態で観察・計測する事ができる唯一の電子線測定装置です。
ナノサイズのローラーモールドの検査に威力を発揮します。特にシームレスパターンの検査には不可欠な装置です。

  • ローラーモールドを直接観察・測定が可能
  • 非破壊・無蒸着で観察が可能
  • 回転式モールドステージ採用
  • お客様の特別仕様(モールドサイズなど)にも対応
基本仕様
Roll-SEMイメージ

※本製品は、受注生産となります。

Roll-SEMイメージ