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CFシリーズ(Charge-Free SEM)

 Charge-Free SEM「CF-01」 絶縁物を無蒸着で観察可能!

ホロンは、フォトマスク(絶縁物)の観察・計測で培った技術を基に幅広い分野で使用していただくため、Charge-Free SEM 「CF-01」 を開発。
石英をはじめとする絶縁物を蒸着(コーティング)することなく、そのまま観察可能です。
CF-01は、試料室内の圧力を高く保ち、一定の風‘Wind’を与えることでチャージアップを抑制しています。

基本仕様
  • 分解能 4nm (1kV)
  • substrates processable 2”~6 ”φ
Charge-Free SEM 「CF-01」イメージ