株式会社ホロン 半導体検査装置の開発、製造、販売、保守サービス

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ホロンの製品について

ホロンの製品とは

ホロンの製品とは

当社は電子ビームを応用し半導体製造に必要なマスク及びウエハを検査・測定する装置を販売しております。(マスク及びウエハは下図「ステッパーの原理」をご参照ください)

ホロン製品の特徴

当社の主要製品をよりよくご理解頂く為に、当社製品の利用方法と使用される工程をご説明致します。

図1:半導体デバイス製造プロセス概念図
当社の主力製品であるマスク用CD-SEMは、半導体製造プロセス(図1)のマスク製造工程で必要となります。マスク製造工程で使用される装置は、大きく”マスクパターン形成(描画)装置”と”マスク検査(修正)装置”に分類され、当社製品は電子ビームを使用した”マスク検査装置”に該当します。

マスクは、CADで作られた描画データを基に、マスク描画装置でブランクスと呼ばれる石英ガラス基板にパターンが形成され、検査・修正の後に完成します。ここまでがマスク製造工程です。

その後、マスクは半導体デバイス工場に納入され、フォトリソ工程の“転写”(図1)に使われます。転写工程では、ステッパー(縮小投影装置)に原版として組み込まれ、数十枚のマスクを交換しながらウエハに縮小転写します。尚、ステッパに使用されるマスクを特に「レチクル」と表現する場合があります。
※CD-SEM 「Critical Dimension-Scanning Electron Microscope」電子ビームによる超微細寸法測定装置のこと。
ステッパー原理

ホロン製品の測定対象

ホロン製品の測定対象