株式会社ホロン 半導体検査装置の開発、製造、販売、保守サービス

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研究開発

ホロンのものさしはナノメートル 見えない世界を測ります
ホロンのものさし

大面積シームレスロールモールドの共同開発

ホロンは、旭化成(株)と共同で光デバイス製造用の大面積シームレスロールモールドの開発に成功しました。これは将来フレキシブル電子デバイス等へ展開する上での第一歩になります。
この開発の内容は、第37回、International Conference on Micro and Nano Engineering (本国際学会は、2011年9月19日~23日ベルリンで開催)において発表されました。
また、2011年10月19日~21日に韓国チェジュ島で開催された、第10回、International Conference on NNT2011においても発表されました。
この成功を支えたのがホロン独自の電子ビーム技術です。

この共同開発に伴い、ホロンは、世界で初めてロールモールドを直接観察ができるCD-SEMの開発に成功し、韓国チェジュ島で開催の国際会議に展示しました。
シームレスロールモールド

世界初のロール用SEMを自社開発

旭化成(株)との共同開発に関連して、ホロンは、世界で初めてロールモールドを直接観察ができるSEMの開発に成功しました。
ロールモールドに形成されたパターンの観察や計測が可能です。
SEM Imaging for Roller Mold ROLL-SEM

世界初ロール用SEMは微細加工技術部門賞を受賞

世界初となるロール用SEMは、2011年2月16日(水)~18(金)に東京ビックサイトで開催された「nano tech 2011 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議」において「nano tech 大賞2011 微細加工技術部門賞」を受賞するなど、高い評価を獲得しています。
表彰式の様子 穴澤社長(右(当時))/nano tech 受賞盾
【受賞理由】
フレキシブルエレクトロニクスなどの部材生産に用いる高速ロールプリントプロセス用ロールモールドの表面に形成した微細パターンを観測・計測できる電子顕微鏡を世界で初めて開発した点を賞す。